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[发明专利]光设备及光检测系统-CN201980001646.2在审
发明人：桥谷享;稻田安寿;平泽拓 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：光设备具备：第1多层反射膜镜；与上述第1多层反射膜镜对置的第2多层反射膜镜；位于上述第1多层反射膜镜与上述第2多层反射膜镜之间且使真空中的波长为λ的光传输的光波导层；以及位于选自上述第1多层反射膜镜与上述光波导层之间、上述第2多层反射膜镜与上述光波导层之间、上述第1多层反射膜镜所含的相邻的两个层之间以及上述第2多层反射膜镜所含的相邻的两个层之间所构成的组的至少一个。上述第1多层反射膜镜中的上述光的透射率比上述第2多层反射膜镜中的上述光的透射率高。
多层反射膜光波导层透射率光传输光设备波长对置

[发明专利]表面发射半导体激光器及其制造方法-CN03119736.1有效
发明人：植木伸明 -专利权人：富士施乐株式会社
申请日： 2003-03-10 - 公布日： 2004-01-14 - 主分类号： H01S5/18 文献下载
摘要：表面发射半导体激光器包括：衬底；在衬底上形成的第一导电类型的下半导体多层镜；第二导电类型的上半导体多层镜；设置在下和上半导体多层镜之间的有源区；设置在下和上半导体多层镜之间的电流限制部分；和设置在上半导体多层镜上的金属层，形成有至少包括上半导体多层镜、电流限制部分和金属层的台面结构，该台面结构具有与金属层对准的侧表面。
表面发射半导体激光器及其制造方法

[实用新型]可追溯压合镜板-CN201220731881.0有效
发明人：沈金明 -专利权人：苏州市嘉明机械制造有限公司
申请日： 2012-12-27 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： H05K3/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可追溯压合镜板，包括：多层压合镜板、多层印刷板和铜箔，所述多层压合镜板和多层印刷板相互间隔设置，所述铜箔设置在多层印刷板和多层压合镜板之间，在所述多层印刷板的上表面设置有第一隔离板，在所述多层印刷板的下表面设置有第二隔离板，所述多层压合镜板的表面还设置有信息标记单元。通过上述方式，本实用新型可追溯压合镜板能够记录相关生产信息，从源头解决了压合镜板可追溯的问题，减少了多层印刷板产生报废及压机本身产生故障，减少了多层印刷板相关材料资源的消耗，能够大大降低线路板制造商的生产成本
追溯压合镜板

[发明专利]多层反射镜光谱纯滤光片、光刻设备以及装置制造方法-CN200610079943.3有效
发明人： M·M·J·W·范赫尔彭;L·P·巴克;V·Y·巴尼纳;D·J·W·克伦德 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2006-04-26 - 公布日： 2006-11-01 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：多层反射镜包括位于多层反射镜顶部的光谱纯度增强层，其比如可用于EUV光刻设备。这个光谱纯度增强层包括第一光谱纯度增强层，但是介于多层反射镜和第一光谱纯度增强层之间可存在有中间层或者第二光谱纯度增强层和中间层。因此，具有下列配置的多层反射镜是可能的：多层反射镜/第一光谱纯度增强层；多层反射镜/中间层/第一光谱纯度增强层；以及多层反射镜/第二光谱纯度增强层/中间层/第一光谱纯度增强层。
多层反射光谱滤光光刻设备以及装置制造方法

[发明专利]发光装置以及原子振荡器-CN201410542232.X在审
发明人：西田哲朗 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-14 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： H03L7/26 文献下载
摘要：其中，发光装置的特征在于，包括：第一导电型的第一半导体多层膜反射镜、与上述第一导电型不同的第二导电型的第二半导体多层膜反射镜、形成于上述第一半导体多层膜反射镜与上述第二半导体多层膜反射镜之间的活性层、形成于上述第一半导体多层膜反射镜与上述活性层之间的半绝缘型的第三半导体多层膜反射镜、以及形成于上述第三半导体多层膜反射镜与上述活性层之间的上述第一导电型的接触层，上述第三半导体多层膜反射镜由带隙能量比在上述活性层产生的光的能量大的材料构成。
发光装置以及原子振荡器

[发明专利]一种X射线多层膜反射镜的制备方法-CN202010433801.2在审
发明人：李艳丽;孔祥东;韩立;姚广宇;董增雅 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2020-05-21 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种X射线多层膜反射镜的制备方法，属于多层膜反射镜技术领域。本发明首先根据X射线的波长和入射角，确定X射线多层膜的周期厚度；然后确定多层膜的厚度和周期数；再利用原子层沉积法在基底表面交替沉积制备X射线多层膜反射镜。本发明制备的X射线多层膜的周期厚度小，可制备适用于波长更短的X射线多层膜反射镜；此外，制备的多层膜的粗糙度小(≤基底的粗糙度)，膜间的界面清晰，多层膜反射镜的反射率高。
一种射线多层反射制备方法

[发明专利]多层反射镜组件-CN201480018990.X有效
发明人： P.科约卡鲁;S.摩塔拉;M.阿波斯托洛;F.特里厄尔齐 -专利权人：索尔维特殊聚合物意大利有限公司
申请日： 2014-03-26 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于制造多层反射镜组件的方法，由此提供的多层反射镜组件以及所述多层反射镜组件在不同应用中的用途。
多层反射镜应用制造

[发明专利]垂直谐振器式发光元件-CN201980068659.1在审
发明人：仓本大 -专利权人：斯坦雷电气株式会社
申请日： 2019-10-07 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：本发明具有：基板；第一多层膜反射镜，其形成在基板上；发光结构层，其形成在第一多层膜反射镜上并且包括发光层；以及第二多层膜反射镜，其形成在发光结构层上，并且与第一多层膜反射镜结合构成谐振器。发光结构层具有：低电阻区域，其以环形设置在第一多层膜反射镜和第二多层膜反射镜之间；以及高电阻区域，其形成在低电阻区域的内部，并且具有比低电阻区域的电阻高的电阻。
垂直谐振器发光元件

[发明专利]垂直腔面发光器件-CN202080015818.4在审
发明人：仓本大;小林静一郎 -专利权人：斯坦雷电气株式会社
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：一种垂直腔面发光器件包括：基板、第一多层膜反射镜、发光结构层和第二多层膜反射镜。第一多层膜反射镜形成在基板上。发光结构层形成在第一多层膜反射镜上。发光结构层包括发光层。第二多层膜反射镜形成在发光结构层上。第二多层薄膜反射镜构成第一多层膜反射镜和第二多层膜反射镜之间的共振器。第二多层膜反射镜包括第一多层膜、中间膜和第二多层膜。第一多层膜具有由低折射率材料制成的低折射率膜和由折射率高于低折射率材料的折射率的高折射率材料制成的高折射率膜。低折射率膜和高折射率膜交替堆叠。中间膜覆盖第一多层膜的上表面。第二多层膜被形成为部分覆盖中间膜的上表面。第二多层膜具有由低折射率材料制成的低折射率膜和由高折射率材料制成的高折射率膜。低折射率膜和高折射率膜交替堆叠。
垂直发光器件

[发明专利]一种等离子体自发光软X射线准单色成像装置及安装方法-CN201810486547.5有效
发明人：王琛;熊俊;方智恒;安红海;贺芝宇;曹兆栋;谢志勇;郭尔夫;王伟;王轶文;张众 -专利权人：中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： G03B42/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体自发光软X射线准单色成像装置，该装置包括多层膜球面镜、球面镜调整架、多层膜平面镜、平面镜调整架、接收部件和接收部件调整架，多层膜球面镜安装在球面镜调整架上，多层膜平面镜安装在平面镜调整架上，接收部件安装在接收部件调整架上，接收部件包括滤片压环、滤片、IP板和底片盒，IP板嵌设在底片盒中，滤片安装在IP板的左侧，在滤片的上端部和下端部均设有用于固定滤片的滤片压环，球面镜调整架、平面镜调整架、接收部件调整架均为三维调节架，多层膜球面镜、多层膜平面镜、接收部件的中心点所在的中轴线与激光束入射线相重合。
调整架接收部件多层膜平面镜球面镜滤片等离子体软X射线单色成像装置底片盒自发光压环成像三维调节架可见光固定滤片硬X射线激光束上端部下端部中心点中轴线重合

[实用新型]一种适用于“水窗”x射线的生物样品成像谱仪-CN201820014647.3有效
发明人：李博文;陈熙萌 -专利权人：兰州大学
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G01N23/2257 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于“水窗”x射线的生物样品成像谱仪，该成像谱仪包括激光器、楔形棱镜、靶装置、多层反射镜、滤光器、针孔、样品以及Schwarzschild投影物镜或菲涅耳带片；靶装置包括两种不同的材料制成的靶材料；多层反射镜的凹面内侧设有楔形棱镜，多层反射镜的凹面外侧设有激光器，该激光器光源正对楔形棱镜；多层反射镜的凹面内侧的反射光区域内设有靶装置，在多层反射镜至多层反射镜凹面内侧反射光的聚焦点方向上分别设有滤光器、针孔，且多层反射镜凹面内侧反射光的聚焦点处设有样品，在样品远离多层反射镜方向侧分别设有Schwarzschild投影物镜或菲涅耳带片、CCD。
多层反射镜凹面楔形棱镜靶装置针孔生物样品成像本实用新型菲涅耳带片投影物镜激光器靶材料反射光聚焦点滤光器谱仪水窗高原子序数元素反射光区域激光器光源成像谱仪反射镜正对光源应用

[发明专利]垂直腔面发光器件-CN202080015430.4在审
发明人：仓本大;小林静一郎 -专利权人：斯坦雷电气株式会社
申请日： 2020-02-05 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：一种垂直腔面发光器件包括：基板、形成在所述基板上的第一多层膜反射镜、形成在所述第一多层膜反射镜上的包括发光层的发光结构层和形成在所述发光结构层上的第二多层膜反射镜，所述第二多层膜反射镜构成所述第一多层膜反射镜和所述第二多层膜反射镜之间的共振器
垂直发光器件

[发明专利]一种基于多层薄膜基底精密电铸的射线反射聚焦镜制造方法-CN202310036096.6在审
发明人：王昆;陈海翔;王占山 -专利权人：同济大学
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C25D1/10 文献下载
摘要：本发明提出一种基于多层薄膜基底精密电铸的射线反射聚焦镜制造方法，通过制备聚焦镜的高精度模具，在模具外表面磁控溅射模具分离膜和多层薄膜，在多层薄膜表面电铸镜壳体，利用模具分离膜与多层薄膜的有效分离最终获得内表面附有多层薄膜的射线反射聚焦镜；本发明将射线反射聚焦镜内表面的超精密加工和磁控溅射多层薄膜难题转化到与聚焦镜模具外表面的直接处理，解决部分小口径内表面直接超精密加工和磁控溅射多层薄膜难题，充分发挥了电铸离子沉积和磁控溅射高均匀性镀膜的技术优势，将模具外表面粗糙度、面形精度和多层薄膜高度、均匀、一致地复制到反射聚焦镜内表面。
一种基于多层薄膜基底精密电铸射线反射聚焦制造方法

[发明专利]一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法-CN201110189133.4无效
发明人：朱京涛;周斯卡;李浩川;王占山 -专利权人：同济大学
申请日： 2011-07-07 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Zr膜层形成Mg/Zr周期多层膜，然后在周期多层膜上镀制B4C作为保护层。与现有技术相比，本发明采用熔点高、相态稳定的金属Zr作为多层膜的吸收层，制作出的Mg/Zr极紫外多层膜反射镜克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜热稳定性差的缺点。同时，在极紫外波段Zr的光学常数合适，Mg/Zr多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜优异的光学性能。因此，兼顾了光学性能和热稳定性的Mg/Zr多层膜反射镜，适用于同步辐射光源、空间观测等工作环境温度高的极紫外波段应用。
一种 mg zr 紫外多层反射及其制作方法

[发明专利]一种多层复合薄膜的激光刻蚀系统及方法-CN202310252086.6在审
发明人：张骆;王子文;金聪 -专利权人：武汉金顿激光科技有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明涉及一种多层复合薄膜的激光刻蚀系统及方法，其系统包括激光器、扩束镜、波片、分束镜、扫描振镜和移动平台，激光器、扩束镜、波片、分束镜和扫描振镜顺次光路连接，移动平台位于扫描振镜的下方，且扫描振镜出射的激光可对移动平台上的待加工样品进行扫描，并对待加工样品表面的多层复合薄膜的表面介质膜层刻蚀，以形成薄膜图案。本发明中激光束通过激光器、扩束镜、波片、分束镜和扫描振镜形成的光路照射至移动平台上的待加工样品表面，从而对待加工样品表面的多层复合薄膜的表面介质膜层刻蚀，并且不会造成多层复合薄膜的底层介质膜层损伤，去除过程简单方便，且精度较高，实现了多层复合薄膜的可控深度激光烧蚀加工。
一种多层复合薄膜激光刻蚀系统方法

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